半导体设备

2025-05-11 52

需求:设备工作台需要高精度的定位,以确保芯片图案的精确曝光。

应用:滚珠花键可以安装在工作台的驱动机构中,通过电机驱动滚珠花键的转动,将旋转运动转化为工作台的直线运动,实现工作台在 X、Y、Z 轴方向上的精密定位,定位精度可达到微米甚至纳米级别。

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